日本 ROOKS布魯克斯儀器 經(jīng)濟高效的氣體流量測量 5700

日本 ROOKS布魯克斯儀器 經(jīng)濟高效的氣體流量測量 5700

一臺設備支持多種氣體，最大限度地提高工藝靈活性和生產(chǎn)率。 系列彈性密封質量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術，非常適合使用多種氣體、經(jīng)常更改氣體類型或保持氣體測量和控制精度的應用，是系統(tǒng)、過程和設施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測量和控制性能，將您的過程靈活性提升到一個新的水平。

利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產(chǎn)正常運行時間，該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)。

簡單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存

通過基于全球標準的高性能測量系統(tǒng)和校準實現(xiàn)的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性，確保最大產(chǎn)量和吞吐量

用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產(chǎn)正常運行時間，該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)

適用于各種非腐蝕性氣體

快速響應時間確保即使在工藝配方更改期間也能快速采取步驟

OEM 的理想選擇：尺寸緊湊，可輕松集成到狹小的機器空間中并加快安裝速度

可選的本地操作員界面 (LOI) 是用于本地查看、設定點控制和設備配置的統(tǒng)包解決方案。無需遠程輔助電子設備。

多種通訊選項可滿足您的要求

僅用于測量

流量范圍廣

不銹鋼氣體接觸材料

單側電源輸入

0.5V輸出信號